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出願人：東京応化工業株式会社の特許一覧

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ホットプレート用リフトピン（第２５８６６８０号）
【請求項１】ベーク処理の間、板状被処理物をホットプレートから持ち上げて保持するリフトピンにおいて、このリフトピンはホットプレートに形成した貫通孔に挿通されるピン本体と、このピン本体の上端に設けられる受け部と、この受け部に着脱自在に取り付けられるチップとからなり、このチップにはネック部が形成され、また前記受け部にはチップの下部が入り込むすり割りと、チップのネ…
印刷版載置テーブルの位置決め機構（第２５８３７４８号）
【請求項１】印刷版を積載した載置テーブルを露光装置の装填部に位置決めする機構において、前記載置テーブルまたは前記載置テーブルを支持する関係にある装填部側の部材の一方にはテーパ溝が設けられ、前記載置テーブルまたは装填部側の部材の他方には前記テーパ溝と係合する回転自在にボールを保持した受け部材が設けられ、載置テーブルにテーパ溝を設ける場合には、当該テーパ溝は載…
基板研磨装置（第２５８０５９３号）
【請求項１】ベースに回転自在に支承された回転筒と、この回転筒内側にに上から差し込まれ基板を吸着保持するものであって回転筒と接離可能とされた基板テーブルと、前記回転筒の外側に一体的に取り付けられるプレートと、このプレートに回転テーブルに載置された基板のオーバーハングした部分を支持すべく前記プレートにその上端が基板テーブルの上面と同一のレベルとなるように設けら…
ウェハーの移載装置（第２５６４７０８号）
【請求項１】回転と進退動が可能なウェハー吸着ハンドを備えた移載装置において、前記ウェハー吸着ハンドは発光素子(22)と受光素子(19)を備え、発光素子(22)から出射した光を受光素子(19)に入射するための溝(23)が前記ウェハー吸着ハンドに形成され、更に溝(23)はウェハーを吸着保持していない状態でそのの底面は発光素子(22)から出射した光を受光素子(19)に導くための反射面となり、ま…
シールリングの取り付け構造（第３０５７１９０号）
【課題】シールリングの装着を簡単に行う。【解決手段】ベース１の下面にはシールリング嵌込み溝１０が開口２に沿って形成され、径方向外側には、係止部材取り付け溝１１が連続して形成されている。係止部材取り付け溝１１はシールリング嵌込み溝１０よりも浅く設定され、この係止部材取り付け溝１１がシールリング嵌込み溝１０に連続して形成されることで、シールリング１２の直径Ｗ…
静電塗装装置（第２５５０７８６号）
【請求項１】塗装ブース内に配置したスプレーガンから噴出する塗料粒子を負に帯電せしめ、負に帯電した塗料粒子を被塗装体表面に付着せしめるようにした静電塗装装置において、前記塗装ブース内壁面には、一面側が平坦で他面側に多数のエアキャップが形成されたシートを当該エアキャップがブース内方を向くように着脱可能に取り付けたことを特徴とする静電塗装装置。【請求項２】前記…
乾燥装置（第３０００６５２号）
【目的】常圧乾燥でありながら、乾燥時間を短縮する。【構成】乾燥装置３は図２に示すように本体３０内を仕切板３１によって上下方向に複数の乾燥室３２を多段状に画成している。各乾燥室３２は前面を空気等の乾燥用気体の導入口３３とし、背面側に隔壁３４にて真空ポンプにつながる吸引ボックス３５を形成し、この隔壁３４に排出口３６を形成し、更に、各乾燥室３２の底部には板状被…